ロシアで唯一のエピタキシャル構造を生産する企業である Epiel 社は、9 月 30 日から 10 月 5 日までクリミアのアルシタで開催された V 国際フォーラム"Microelectronics-2019"に参加しました。

フォーラムでは、「アンモニア分子線エピタキシー法を用いた3C-SiC/Si(111)テンプレート上へのAlN遷移層の形成」と「サファイア上の極薄シリコン層の構造欠陥密度に対する二重注入による固相再結晶化の影響」についての報告が行われました。これらの報告は、窒化ガリウムをベースとしたエピタキシャル構造体製造技術開発コンソーシアムに参加している"Epiel" JSCの大規模プロジェクトの一環として行われたものです。

マイクロエレクトロニクス・フォーラムは、エレクトロニクス分野の最新技術と市場動向を議論するための主要なコミュニケーション・プラットフォームです。4年間の成功を収めたこのイベントには、ロシア、ベラルーシ、アルメニア、中国、米国から1,000人以上の参加者と400社以上の企業が集まりました。主催はNIIMA Progress JSC、NIIME JSC、NRU MIETです。このイベントは、ロシア工業貿易省、ロシア工学連合、Rostec State Corporation、Roselektronika、Skolkovo Foundationの支援を受けて開催されました。

会社概要

エピエルは、集積回路、ディスクリートパワーデバイス、その他多くの電子部品を含む幅広い半導体デバイス用のシリコンとサファイアをベースとしたエピタキシャル構造体の製造を専門とするロシアで唯一の会社です。

現代のエピタキシャル構造は、高度なエンジニアリングと高度な技術の産物です。シリコンエピタキシャル構造とは、高純度単結晶シリコンの薄い丸いウェハの表面に、単結晶シリコンの極薄エピタキシャル層を堆積させたものである。

シリコンエピタキシャル構造は、民間、軍事、宇宙エレクトロニクスで使用される幅広い電子部品の製造のための基本材料であるため、現代のラジオエレクトロニクスが構築されているピラミッドの基礎となっています。

エピエル社は20年以上にわたり、国内および国際的なエレクトロニクス産業のエピタキシャル構造の需要に応えてきました。同社の製品はロシア全土の50社以上の電子機器メーカーで使用されています。

生産

今日、「エピエル」は、直径100、150、200mmの世界クラスのシリコンエピタキシャル構造体を生産しており、これらの構造体は、国内および海外の大手マイクロエレクトロニクス企業である「ミクロン」や「アングストレム」に供給されています。

さらに、これらの構造体をベースに、民生用、特殊用途の電子機器に使用されるマイクロ回路が生産されています。例えば、モスクワの交通網の非接触型RFIDチケットには、ミクロンで生産された集積回路が使用されています。

国内のほぼすべての消費者のニーズを満たすことは、幅広い技術力を必要とするため、非常に難しい課題です。シリコンエピタキシーにおける30年以上の経験を持つ同社の専門家は、幅広いパラメータで標準および非標準エピタキシャル構造の両方を製造することを可能にする多くの技術プロセスを開発してきました。高い科学的可能性と幅広い生産機会の組み合わせにより、「エピエル」はロシアのみならず世界でも唯一無二の企業となっています。

エピタキシャル構造体「シリコン・オン・サファイア」（SOS）は、同社のユニークで有望な製品の一つです。この構造の特徴は、絶縁体であるサファイア基板の上にシリコンのエピタキシャル層を蒸着していることである。

CNS構造体は、民間、軍事、宇宙用の電子部品の製造に使用されている。特に、宇宙機器や原子力発電所の電子システム、通信機器、オプトエレクトロニクス、特殊用途電子機器などに使用される耐放射線集積回路の基盤として利用されています。

また、エピエルは、窒化ガリウム（GaN）をベースとしたエピタキシャル構造体製造技術の開発コンソーシアムに参加しています。パワーGaNトランジスタは、電圧パルスコンバータ、無停電電源装置、太陽光発電所や風力発電機、交通機関などで使用することができます。特別な応用分野としては、ハイブリッド車や電気自動車などがあります。

革新的な開発

"エピエルは、国内消費者の将来の開発計画を先取りした新タイプのエピタキシャル構造物の開発はもちろんのこと、品質向上のための絶え間ないイノベーションと新タイプのエピタキシャル構造物の開発を主要な戦略の方向性としています。

この5年間で、同社は新たな飛躍を遂げ、高級設備を備えた新生産エリアのプロジェクトを実施しました。このプロジェクトの実施には、設備、クリーンルーム、インフラストラクチャーへの多額の投資が必要でした。ロシアでは珍しいこのプロジェクトは、国内のエレクトロニクス産業のさらなる発展のための強固な基盤を築くものであり、国内のエレクトロニクス産業にとって特に重要なものとなっています。